电子级超纯水设备技术工艺解析

分类：技术资料 /Technical Information
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发布时间：2019-06-19
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【概要描述】电子行业生产过程对生产用水使用要求非常高，集成电路的集成度越高，对水质要求也越高。目前我国电子工业部把电子级水质技术分为五个行业标准，分别为18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm，以区分不同水质。使用重庆电子级超纯水设备可以制取五个标准的水。　　电子、半导体、液晶显示、光伏工业生产在制作过程中，往往需要使用极其纯净的超纯水。如果纯水水质达不到生产工艺用水的要

电子级超纯水设备技术工艺解析

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电子级超纯水设备技术工艺解析

【概要描述】电子行业生产过程对生产用水使用要求非常高，集成电路的集成度越高，对水质要求也越高。目前我国电子工业部把电子级水质技术分为五个行业标准，分别为18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm，以区分不同水质。使用重庆电子级超纯水设备可以制取五个标准的水。　　电子、半导体、液晶显示、光伏工业生产在制作过程中，往往需要使用极其纯净的超纯水。如果纯水水质达不到生产工艺用水的要

分类：技术资料 /Technical Information
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发布时间：2019-06-19
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　　电子行业生产过程对生产用水使用要求非常高，集成电路的集成度越高，对水质要求也越高。目前我国电子工业部把电子级水质技术分为五个行业标准，分别为18MΩ.cm、15MΩ.cm、 10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm，以区分不同水质。使用重庆电子级超纯水设备可以制取五个标准的水。

　　电子、半导体、液晶显示、光伏工业生产在制作过程中，往往需要使用极其纯净的超纯水。如果纯水水质达不到生产工艺用水的要求或者水质不稳定的话，会影响到后续工艺的处理效果和使用寿命。在光伏行业电子管生产中，如其中混入杂质，就会影响电子的发射，进而影响电子管的放大性能及寿命，在显像管和阴极射线管生产中，其荧光屏内壁用喷涂法或沉淀法附着一层荧光物质，如其配制纯水中含铜在8ppb以上，就会引起发光变色;含铁在50ppb以上就会使发光变色、变暗、闪动并会造成气泡、条迹、漏光点等废次品

　　电子级超纯水设备工艺流程

　　1、采用离子交换方式，其流程如下：自来水→电动阀→多介质过滤器→活性炭过滤器→软化水器→中间水箱→低压泵→精密过滤器→阳树脂床→阴树脂床→阴阳树脂混合床→微孔过滤器→用水点。

　　2、采用两级反渗透方式，其流程如下：自来水→电动阀→多介质过滤器→活性炭过滤器→软化水器→中间水箱→低压泵→精密过滤器→一级反渗透主机→PH调节→混合器→二级反渗透主机（反渗透膜表面带正电荷）→纯水箱→纯水泵→微孔过滤器→用水点。

　　3、采用高效反渗透加EDI方式，其流程如下（最新工艺性价比最高）：自来水→电动阀→多介质过滤器→活性炭过滤器→软化水器→中间水箱→低压泵→PH值调节系统→高效混合器→精密过滤器→高效反渗透→中间水箱→EDI水泵→EDI系统→微孔过滤器→用水点。

　　电子级超纯水处理系统特点

　　1.占地面积小，水利用率高，不会消耗大量酸碱，除盐率可达99%以上。

　　2.电子级超纯水处理系统缺点是投资相对较大。

　　3.电子级超纯水处理系统将叠片式过滤器、超滤膜作及保安过滤器作为预处理，能去除水中悬浮物、胶体、余氯、泥沙等杂质，使处理后的水符合反渗透进水要求，在经过反渗透膜除去溶解性盐类物质、细菌等，然后使用连续电除盐装置进一步脱盐处理，使产水电阻率达到15MΩ.cm以上，再采用电子级纯水树脂抛光混床除盐，使产水电阻率达到18.2MΩ.cm。使用TOC降解器和精密过滤器进行后处理，防止被细菌二次污染。

　　4.重庆力德电子级超纯水系统中主要元件如EDI膜块等均选用国际知名品牌，全部按照反渗透膜设计以及EDI的进水要求进行设备选型，保证系统安全运行。

　　电子级超纯水设备的场合应用

　　·电子级半导体材料、器件、印刷电路板和集成电路；

　　·电子级超纯材料和超纯化学试剂；

　　·实验室和中试车间；

　　·汽车、家电表面抛光处理；

　　·其他高科技精微产品。

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